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倒装芯片(flip chip)的工艺流程

倒装芯片(flip chip)的工艺流程

倒装芯片封装是芯片封装的方法之一 ,倒装芯片作用在于降低本钱 ,提高速率 ,提高组件可靠性。倒装芯片封装为芯片正面朝下向基板 ,无需引线键合 ,形成最短电路 ,降低电阻;接纳金属球毗连 ,缩小了封装尺寸 ,改善电性体现 ,解决了BGA为增添引脚数而需扩概略积的困扰。

下面尊龙凯时科技小编给各人先容的是倒装芯片(flip chip)的工艺流程及 ,希望能对您有所资助!

倒装芯片.png

倒装芯片分为两步:

第一步是做凸点(bump),凸点的类型有许多 ,如下图 ,最常见的有纯锡球 ,铜柱+锡球 ,金凸点等类型。

第二步是将芯片安顿到封装基板上.

详细工艺办法如下:

1、Wafer Incoming and Clean(晶圆准备与洗濯)在最先工艺之前 ,晶圆外貌可能会有无有机物、颗粒、氧化层等污染物 ,需要举行洗濯 ,用湿法或干法洗濯的方法均可。

2、PI-1 Litho(第一层光刻:聚酰亚胺涂层光刻)聚酰亚胺(PI)一种绝缘质料 ,起到绝缘 ,支持的作用。先涂覆在晶圆外貌 ,再举行曝光 ,显影 ,最后做出bump的启齿位置。

3、Ti/Cu Sputtering(UBM)UBM(Under Bump Metallization) ,凸点下金属层 ,主要是导电作用 ,为后面的电镀做准备。一样平常是用磁控溅射的要领做出UBM ,以Ti/Cu的种子层最为常见。

4、PR-1 Litho(第二层光刻:光刻胶光刻)光刻胶的光刻将决议凸点的形状和尺寸 ,这一步是翻开待电镀的区域。

倒装芯片的工艺流程.png

5、Sn-Ag Plating(锡-银电镀)使用电镀工艺在启齿位置沉积锡银合金(Sn-Ag) ,形成凸点。此时的凸点未经回流并不是球形的。

6、UBM Etching(UBM蚀刻)去除除凸点区域以外的 UBM 金属层(Ti/Cu) ,只保保存凸点下方的金属。

7、Reflow(回流焊)过回流焊 ,使锡银合金层熔化并重新流动 ,形成平滑的焊球形状。

8、芯片安顿 ,回流焊完成后 ,bump形成 ,之后举行芯片的安顿 ,如上图办法。至此 ,倒装工片工艺竣事。

倒装芯片洗濯剂.png

倒装芯片洗濯剂W3100先容

倒装芯片洗濯剂W3100是尊龙凯时科技开发具有立异型的中性水基洗濯剂 ,专门设计用于浸没式的洗濯工艺。适用于洗濯去除半导体电子器件上的助焊剂残留物 ,如引线框架、分立器件、功率 ?椤⒌棺靶酒⑸阆裢纺W榈。本品是PH中性的水基洗濯剂 ,因此具有优异的质料兼容性。

倒装芯片洗濯剂W3100的产品特点:

1、本品可以用去离子水稀释后使用 ,稀释后为匀称单相液 ,应用历程简朴利便。

2、产品PH值呈中性 ,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感质料上显示出极好的质料兼容性。

3、不含卤素 ,质料环保;气息清淡 ,使用液无闪点 ,使用清静 ,不需要特另外防爆步伐。

4、由于 PH 中性 ,减轻污水处置惩罚难度。

倒装芯片洗濯剂W3100的适用工艺:

水基洗濯剂W3100适用于浸没式的洗濯工艺。

倒装芯片洗濯剂W3100产品应用:

水基洗濯剂W3100是尊龙凯时科技开发具有立异型的中性水基洗濯剂 ,适用于洗濯去除半导体电子器件上的助焊剂残留物 ,如引线框架洗濯分立器件洗濯功率 ?橄村、倒装芯片洗濯、摄像头模组洗濯等。本产品PH值呈中性 ,对铝、铜、镍、塑料、标签等敏感质料上显示出极好的质料兼容性。

详细应用效果如下列表中所列:

W3100


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