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先进晶圆级封装的主要优势与先进封装芯片洗濯先容

晶圆级封装手艺可界说为:直接在晶圆上举行大部分或所有的封装、测试程序 ,然后再举行装置焊球并切割 ,产出一颗颗的 IC 制品单位(如下图所示)。

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晶圆级封装手艺与打线型(Wire-Bond)和倒装型(Flip-Chip)封装手艺相比 ,能省去打金属线、外延引脚(如QFP)、基板或引线框等工序 ,以是具备封装尺寸小、电气性能好的优势。

封装行业的领跑者们大多基于晶圆模式来批量生产先进晶圆级封装产品 ,不但可使用现有的晶圆级制造装备来完成主体封装制程的操作 ,并且让封装结构、芯片结构的设计并行成为现实 ,进而显著缩短了设计和生产周期 ,降低了整体项目本钱。

先进晶圆级封装的主要优势包括:

  1. 缩短设计和生产周期 ,降低整体项目本钱;

  2. 在晶圆级实现高密度 I/O 互联 ,缩小线距;

  3. 优化电、热特征 ,尤其适用于射频/微波、高速信号传输、超低功耗等应用;

  4. 封装尺寸更小、用料更少 ,与轻薄、短小、价优的智能手机、可衣着类产品抵达完善契合;

  5. 实现多功效整合 ,如系统级封装(System in Package ,SiP)、集成无源件(Integrated Passive Devices ,IPD)等。

需要强调的一点是 ,与打线型封装手艺差别 ,用晶圆级封装手艺来实现腔内信号布线(Internal Signal Routing)有多个选项:晶圆级凸块(Wafer Bumping)手艺、再漫衍层(Re-Distribution Layer)手艺、硅介层(Silicon Interposer)手艺、硅穿孔(Through Silicon Via)手艺等。

先进晶圆级封装手艺 ,主要包括了五概略素:

  1. 晶圆级凸块(Wafer Bumping)手艺;

  2. 扇入型(Fan-In)晶圆级封装手艺;

  3. 扇出型(Fan-Out)晶圆级封装手艺;

  4. 2.5D 晶圆级封装手艺(包括IPD);

  5. 3D 晶圆级封装手艺(包括IPD)。

晶圆凸块(Wafer Bumping) ,顾名思义 ,即是在切割晶圆之前 ,于晶圆的预设位置上形成或装置焊球(亦称凸块)。晶圆凸块是实现芯片与 PCB 或基板(Substrate)互连的要害手艺。凸块的选材、结构、尺寸设计 ,受多种因素影响 ,如封装巨细、本钱及电气、机械、散热等性能要求。下图所示为几款典范的晶圆凸块实例:

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扇入型晶圆级封装(Fan-In Wafer Level Package ,FIWLP)手艺 ,业内亦称晶圆级芯片规模封装(Wafer Level Chip Scale Package ,WLCSP)手艺 ,是当今种种晶圆级封装手艺中的主力 ,主要供应手机、智能衣着等便携型电子产品市场。

随着便携型电子产品的空间一直缩小、事情频率日益升高及功效需求的多样化 ,芯片输入/输出(I/O)信号接口的数目大幅增添 ,凸块及焊球间距(Bump Pitch & Ball Pitch)的细密水平要求渐趋严酷 ,再漫衍层(RDL)手艺的量产良率也因此越发受重视。在这种配景下 ,扇出型封装(Fan-Out Wafer Level Package ,FOWLP) 及扇入扇出混淆型(Hybrid Fan-In/Fan-Out)等高端晶圆级封装手艺应运而生。下图所示为FIWLP(左)、FOWLP(右)的典范结构:

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在晶圆级封装制程里, 再漫衍层(Re Distribution Layer, RDL)手艺主要用于在裸芯(Bare Die)和焊球之间重新妄想(也可明确为优化)信号布线、传输的路径 ,以抵达将晶圆级封装产品的信号互联密度、整体无邪度最大化的目的。RDL 的手艺焦点 ,简朴来说就是在原本的晶圆上附加一层或多层的横向毗连 ,用来传输信号。

下图所示为典范的 Chip-First RDL 计划。值得注重的是 ,在该计划中有两层电介质(Dielectric)质料 ,用来;け黄浒 RDL 层(可明确为应力缓冲)。另外 ,凸块冶金(Under Bump Metallurgy ,UBM)手艺在这里也派上了用场 ,来资助触点(Contact Pad)支持焊球、RDL 尚有电介质。

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随着超高密度多芯片模组(Multiple Chip Module ,MCM)以致系统级封装(SiP)产品在 5G、AI、高性能运算、汽车自动驾驶等领域的普及 ,2.5D 和 3D 晶圆级封装手艺备受设计职员青睐。下图所示为 2.5D(左)和 3D(右)晶圆级封装手艺。

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如上方图左所示 ,对 2.5D 晶圆级封装手艺而言 ,两颗芯片的信号互联 ,可以通过再漫衍层(Re-Distribution Layer ,RDL)或者硅介层(Silicon Interposer)手艺来实现。

如上方图右所示 ,对 3D 晶圆级封装手艺而言 ,逻辑、通讯类芯片如 CPU、GPU、ASIC、PHY 的信号互联 ,也可通过再漫衍层(RDL)或硅介层(Silicon Interposer)手艺来实现。可是 ,3D 堆叠起来的多个高带宽存储(High-Bandwidth Memory ,HBM)芯片与其底部的逻辑类芯片的信号互联 ,则由硅穿孔(Through Silicon Via ,TSV)手艺来实现。虽然 ,以上几种互联(Interconnect)怎样取舍 ,需凭证现实规格、本钱目的详细问题详细剖析。

岂论着眼现在 ,照旧放眼未来 ,随着 5G、人工智能、物联网等大手艺趋势奔涌而至 ,在高密度异构集成的手艺竞赛中 ,晶圆级封装手艺必将占有一席之地。

先进芯片封装洗濯:

尊龙凯时科技研发的水基洗濯剂配合合适的洗濯工艺能为芯片封装条件供清洁的界面条件。

水基洗濯的工艺和装备设置选择对洗濯细密器件尤其主要 ,一旦选定 ,就会作为一个恒久的使用和运行方法。水基洗濯剂必需知足洗濯、漂洗、干燥的全工艺流程。

污染物有多种 ,可归纳为离子型和非离子型两大类。离子型污染物接触到情形中的湿气 ,通电后爆发电化学迁徙 ,形成树枝状结构体 ,造成低电阻通路 ,破损了电路板功效。非离子型污染物可穿透PC B 的绝缘层 ,在PCB板表层下生长枝晶。除了离子型和非离子型污染物 ,尚有粒状污染物 ,例如焊料球、焊料槽内的浮点、灰尘、灰尘等 ,这些污染物会导致焊点质量降低、焊接时焊点拉尖、爆发气孔、短路等等多种不良征象。

这么多污染物 ,究竟哪些才是最备受关注的呢 ?助焊剂或锡膏普遍应用于回流焊和波峰焊工艺中 ,它们主要由溶剂、润湿剂、树脂、缓蚀剂和活化剂等多种因素 ,焊后必定保存热改性天生物 ,这些物质在所有污染物中的占有主导 ,从产品失效情形来而言 ,焊后剩余物是影响产品质量最主要的影响因素 ,离子型残留物易引起电迁徙使绝缘电阻下降 ,松香树脂残留物易吸附灰尘或杂质引发接触电阻增大 ,严重者导致开路失效 ,因此焊后必需举行严酷的洗濯 ,才华包管电路板的质量。

推荐使用尊龙凯时科技水基洗濯剂产品。

 


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