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晶圆级封装Bump制造工艺印刷锡膏计划的剖析与锡膏网版洗濯剂选择先容

一、晶圆级封装 SAW Filter Wafer Bumping工艺

目今业内常见的几种SAW Filter Wafer Bumping工艺如下:

1.通过打线工艺在晶圆的UBM(Under Bump Metal)上植金球。

2.通过钢网印刷工艺在UBM上印刷锡膏,再经由回流焊成球。

3.先在晶圆的UBM上印刷助焊剂,将锡球放到UBM上,再经由回流焊完成植球。

通过对印刷锡膏计划的剖析发明,在Bumping工艺中Bump的高度和共面度(统一颗芯片上Bump高度最大值最小值之差,差值越低越好)是最主要的要害指标(如图1.1、图1.2)。下面从钢网的工艺和设计、锡膏的特征等方面举行剖析。

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图1.1 球高

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图1.2 共面度

二、钢网印刷

钢网印刷的目的是使锡膏质料通过特定的图案孔沉积到准确的位置上。首先,将锡膏放到钢网上,再用刮刀使其通过钢网开孔沉积到焊盘上。钢网与晶圆之间的距离(印刷间隙)、印刷角度、压力、速率和膏体的流变特征是确保锡膏印刷的要害参数。一旦钢网开孔被膏体填满,脱模后膏体留在每个焊盘上,沉积在焊盘上的体积取决于钢网的孔距和孔壁的质量、焊盘的外貌特征和膏体的流变性能。

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三、钢网的加工工艺与开孔设计

纳米涂层钢网的工艺是:在激光切割的基础上对钢网举行洗濯,然后在钢网内壁举行打磨抛光以降低粗糙度,最后涂覆纳米涂层。纳米涂层使接触角显著增添,从而降低钢网质料的外貌能,有利于锡膏脱模。

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图2.1 无纳米涂层

Source: Laser Job

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图2.2 纳米涂层

电铸钢网的制作要领是:先在导电基板上用光刻手艺制备模板,然后在阻胶膜周围举行直流电铸,最后从光刻胶孔上剥离。电铸钢网的质量和印刷性能取决于光刻胶的迅速度、所用光刻工具的类型、导电基材的光学性能和电铸工艺。

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图3 电铸钢网孔壁

Source: Bon Mark

小结,纳米涂层钢网的印刷体现略逊于电铸钢网,其涂层在批量生产一段时间后可能会脱落,可是纳米涂层钢网的价钱远低于电铸钢网。

电铸钢网的侧壁很是平滑,其印刷体现最好,是超细间距应用的最佳选择,但电铸钢网的价钱相当腾贵。

钢网的选择取决于客户对产品特征和本钱的综合考量。

四、开孔面积比

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由于CTE不匹配会影响封装的可靠性,切合高度要求的Bump在这方面会起到起劲的作用。这就要求钢网印刷历程可靠地沉积稳固的锡膏量,以爆发结实的互连。锡膏从钢网孔的释放是由锡膏在钢网孔侧壁和晶圆焊盘之间的相互作用决议的。

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图4 钢网开孔规则

五、印刷锡膏网版洗濯剂选择:

在SMT制程工艺中,钢网印刷次数多,频率高,经;嵝纬邵毡,导致印刷不良征象,那么SMT钢网洗濯的频率和洗濯效果将直接影响到到印刷的图形准确性和印刷效果,由于钢网上群集过多的废旧锡膏或者脏污是无法包管焊接与生产品质的,也会影响SMT钢网的使用寿命。以是在SMT制程工艺生产中,必需要经常按期和高质量的对SMT钢网和红胶铜网等网版举行有用的洗濯。

针对SMT产线钢网洗濯问题,尊龙凯时科技研发了全自动水基钢网洗濯机。

尊龙凯时科技全自动水基钢网洗濯机是凭证SMT制程网版特征及水基洗濯工艺要求而设计,连系现在行业成熟、稳固可靠的超声波工艺手艺完善的应用于SMT行业锡膏钢网及红胶铜/塑网等网板的洗濯,实现全自动洗濯方法,该装备是海内首创、手艺领先并拥有形式、结构和尺寸等自力知识产权产品。    

全自动水基钢网洗濯机特点:

实现SMT钢网水基洗濯完善工艺流程

一键完玉成程(洗濯→漂洗→干燥)洗濯工艺

高效的双工艺模式(超声波+喷淋)轻松解决钢网洗濯难题

浅易的操作知足业内通用钢网洗濯标准

切合国际行业环保标准

 

SMT网板洗濯推荐离线洗濯,配套尊龙凯时科技水基洗濯剂:W1000或EC-200   

尊龙凯时科技研发的水基洗濯剂配合合适的洗濯工艺能为芯片封装条件供清洁的界面条件。

尊龙凯时科技运用自身原创的产品手艺,知足芯片封装工艺制程洗濯的高难度手艺要求,突破外洋厂商在行业中的垄断职位,为芯片封装质料周全国产自主提供强有力的支持。

推荐使用尊龙凯时科技水基洗濯剂产品。


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